靜電的原理

日期：2025-10-09 15:30

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摘要：

靜電的原理

一、概述

在人們的日常生活和工作中, 經(jīng)常會遇到靜電現(xiàn)象。那么, 靜電到底是什么, 它的產(chǎn)生機理以及它有哪些危害, 如何預防和消除這些危害, 這是我們必須考慮和解決的問題。

1．什么是靜電？

靜電是一種電能，它存在于物體表面，是正負電荷在局部失衡時產(chǎn)生的一種現(xiàn)象。靜電現(xiàn)象是指電荷在產(chǎn)生與消失過程中所表現(xiàn)出的現(xiàn)象的總稱，如摩擦起電就是一種靜電現(xiàn)象。

2．為什么要防靜電？

由于電子行業(yè)的迅速發(fā)展，體積小、集成度高的器件得到大規(guī)模生產(chǎn)，從而導致導線間距越來越小，絕緣膜越來越薄，致使耐擊穿電壓也愈來愈低。而電子產(chǎn)品在生產(chǎn)、運輸、儲存和轉(zhuǎn)運等過程中所產(chǎn)生的靜電電壓卻遠遠超過其擊穿電壓閾值，這就可能造成器件的擊穿或失效，影響產(chǎn)品的技術(shù)指標，降低其可靠性。由此可見，靜電是電子行業(yè)發(fā)展中的一大障礙。所以預防靜電必須提到議事日程上來，以確保產(chǎn)品的質(zhì)量。

為使電子器件及產(chǎn)品在購買、入庫、發(fā)料、檢驗、儲存、調(diào)測和安裝等過程中免受靜電危害,了解靜電產(chǎn)生的機理和一些防止靜電產(chǎn)生危害的相關(guān)知識是非常必要和重要的。

二、電子行業(yè)中靜電障害的形成

電子行業(yè)中靜電障害可分為兩類：一是由靜電引力引起的浮游塵埃的吸附；二是由靜電放電引起的介質(zhì)擊穿；

1．靜電吸附

在半導體元器件的生產(chǎn)制造過程中, 由于大量使用了石英及高分子物質(zhì)制成的器具和材料，其絕緣度很高，在使用過程中一些不可避免的摩擦可造成其表面電荷不斷積聚, 且電位愈來愈高。表1列出了半導體元器件及其使用環(huán)境中部分物品表面的靜電電位。

從表1可見，它們的靜電電位都很高。由于靜電的力學效應(yīng)，在這種情況下, 很容易使工作場所的浮游塵埃吸附于芯片表面，而很小的塵埃吸附都有可能影響半導體器件的良好性能。所以電子產(chǎn)品的生產(chǎn)必須在清潔環(huán)境中操作，并且操作人員、器具及環(huán)境必須采取一系列的防靜電措施，以防止和降低靜電危害的形成。

2．介質(zhì)擊穿的分類

由靜電引起元器件的擊穿是電子工業(yè)中靜電危害的主要方式。在強電場中，隨著電場強的增強，電荷不斷積累，當達到一定程度時，電介質(zhì)會失去極化特征而成為導體，*后產(chǎn)生介質(zhì)的熱損壞現(xiàn)象，這種現(xiàn)象稱為電介質(zhì)的擊穿。介質(zhì)擊穿分熱擊穿、化學擊穿和電擊穿三種形式。

（1）熱擊穿介質(zhì)工作時，當損耗產(chǎn)生的熱量大于介質(zhì)向周圍散發(fā)的熱量時，介質(zhì)的溫度迅速升高，導電隨之增加，直至介質(zhì)的熱損壞。可見熱擊穿的核心問題是散熱問題。所以熱設(shè)計是產(chǎn)品設(shè)計的重要環(huán)節(jié)之一。

（2）化學擊穿在高壓下，強電場會在介質(zhì)表面或內(nèi)部的缺陷小孔附近產(chǎn)生局部空氣碰撞電離，引起介質(zhì)電輝，生成化學物質(zhì)--臭氧和二氧化碳，使絕緣性能降低，致使介質(zhì)損壞。

（3）電擊穿電擊穿是介質(zhì)在強電場作用下, 被擊發(fā)出自由電子而引起的。自由電子隨電場強度的增加而急劇增加，從而破壞介質(zhì)的絕緣性能。可見電擊穿的本質(zhì)是電荷積聚所致, 因而防止電荷積聚就可防止電擊穿。一般把擊穿的臨界電壓稱為擊穿電壓, 臨界場強稱為擊穿場強。例如: E空氣 = 3 kV/m, MOS管結(jié)構(gòu)的E柵氧化摸 = 1.0×106kV/m。

3．靜電的擊穿與放電

（1）靜電放電靜電放電與外加穩(wěn)定電源產(chǎn)生的放電雖然同為電荷積聚所致，但又有著明顯的區(qū)別。首先，在靜電放電的情況下，起放電電源是空間電荷，因而它所儲存的能量是有限的，不像外加電源那樣具有持續(xù)放電的能力，故它僅能提供短暫發(fā)生的局部擊穿能量。雖然靜電放電的能量較小, 但其放電波形很復雜，控制起來也比較麻煩。半導體器件的軟擊穿就與它有關(guān)。

（2）靜電擊穿由靜電擊穿引起的元器件擊穿損壞是電子工業(yè)中，特別是電子產(chǎn)品制造中*普遍、*嚴重的危害。

靜電放電可能造成器件硬擊穿或軟擊穿。硬擊穿是一次性造成器件的長久性失效，如器件的輸出與輸入開路或短路。軟擊穿則可使器件的性能劣化，并使其指標參數(shù)降低而造成故障隱患。由于軟擊穿可使電路時好時壞（指標參數(shù)降低所致），且不易被發(fā)現(xiàn)，給整機運行和查找故障造成很**煩。軟擊穿時設(shè)備仍能帶"病"工作，性能未發(fā)生根本變化，很可能通過出廠檢驗，但隨時可能造成再次失效。多次軟擊穿就能造成硬擊穿，使設(shè)備運行不正常，既給用戶造成損失，也影響廠家聲譽和產(chǎn)品的銷售。

4．人體靜電

在工業(yè)生產(chǎn)中，引起元器件損壞和對電子設(shè)備的正常運行產(chǎn)生干擾的一個主要原因是人體靜電放電。人體靜電放電既可能造**體遭電擊而降低工作效率，又可能引發(fā)二次事故（即器件損壞），因此人體靜電應(yīng)引起足夠重視。人體形成靜電的原因是人體在日常工作中，把人體所消耗的機械能在活動中轉(zhuǎn)換為電能。人體是一個靜電導體，當與大地絕緣時（如穿的鞋底為絕緣物質(zhì)），人體與大地就形成一個電容，使電荷儲存起來，其充電電壓一般 ≤50kV。當電荷儲積到一定程度時，一旦條件成熟會放電形成火花，瞬時放電電壓可達數(shù)千千伏，放電功率可達幾千千瓦。

（1）人體靜電的起電方式

① 起步電流當人行走在絕緣地板上時，抬起的一只腳由于鞋底電阻的存在可產(chǎn)生一個充電電流I1，而另一只腳也由于鞋底電阻的存在，落地時有一個泄露電流I2 。這種電流一般小于10-8A，其大小和步行方式與地板材料有關(guān)。

②摩擦帶電及其它帶電　人體在日常工作中, 會與所穿的衣服、鞋帽、手套產(chǎn)生摩擦，并且衣服與周圍物體之間、鞋子與地板之間、手與工件之間等都可產(chǎn)生摩擦。此外，當人體靠近帶電物體時，也會感應(yīng)出大小相等、符號相反的電荷以及帶電顆粒的吸附，所有這些都是人體產(chǎn)生靜電電荷的誘因，進而通過傳導和靜電感應(yīng), *終使人體呈帶電狀態(tài)。

（2）影響人體帶電的因素

①起電電流操作者的起電電流一般為I0=10-8～10-6，IMAX=10-4。當人體對地電阻一定時，起電電流I越大，人體帶電量q就越大，電位就越高。I0一定時，人體對地電阻R越大，電壓就越高，人體帶電荷q就越多。即：

U↑=I↑R↑ q↑=U↑C

②人體對地電阻　人體電阻分兩種：表面電阻和體積電阻。由公式U = I R和 q =U C可見，對地電阻R越大，其帶電量q也越高。表面電阻的大小與皮膚的干燥程度和空氣的濕度有關(guān)。干燥時一般為100～600kΩ，潮濕狀態(tài)為11kΩ，人體手到腳的體積電阻一般為500Ω～800Ω。

③人體電容一般指人體對地的電容和人體對周圍物體的電容。由公式q = UC可見：電量一定時，電壓U隨電容C的減小而增大。由公式W=q2/2C可見：人體所儲存的靜電可隨人體電容的減小而增大。

（ 3）人體放電電擊感度人體帶電放電時，人體會有不同程度的反映，這種反映稱為電擊感度。當人體受到靜電電擊時，雖不會發(fā)生重大生理障礙，但可能影響人的工作效率，或造成精神緊張和二次破壞等。

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